식각 (蝕刻, etching)은 화학약품의 부식작용을 응용한 소형 (塑型)이나 표면가공의 방법으로, 사용하는 소재에서 필요한 부위만 방식(防蝕) 처리를 한 후 다른 부분은 부식시켜서 불필요한 부분을 제거하여 원하는 모양을 얻는다.화학적 또는 물리적 수단을 이용하고 제어되어 정밀한 패턴으로 기판 표면의 층(Layer)을 제거하는 기술로서 반도체, OLED 제조 등 전자산업에서 원하는 회로 패턴, 구조 또는 표면 특성을 얻기 위해 수행한다. 강산과 강알칼리 등 화학물질을 이용한 습식 식각과 플라스마 또는 이온빔을 이용한 건식 식각이 있으며, 습식과 건식 식각 공정은 작동 방식이 달라 운전, 정비 때 발생하는 유해·위험 요인 특성이 다르게 나타난다. 식각 기법은 불산 액체를 사용하는 습식식각 (wet ..